KAIST·삼성전자, '무질서의 역설'로 반도체 최강 온실가스 CF₄ 잡는다

엔트로피 안정화로 고온·장기 안정성 확보

공정 운영비 절감과 제조 경쟁력의 연결고리

산업 확장성·정책 과제와 향후 전망

엔트로피 안정화로 고온·장기 안정성 확보

 

KAIST 생명화학공학과 지승혁 박사후연구원과 삼성전자 연구진은 반도체 제조 공정에서 배출되는 강력한 온실가스 사불화탄소(CF₄)를 고효율로 분해하는 촉매 기술을 공동 개발했다. 이 연구는 화학·화공 분야 국제학술지 '앙게반테 케미 인터내셔널 에디션(Angewandte Chemie International Edition)' 2026년 6월호에 게재되어 동료심사를 통과했다.

 

핵심 성과는 '엔트로피 안정화(entropy stabilization)'라는 설계 전략으로, 무질서한(무정형) 구조를 오히려 촉매의 안정성 확보에 활용함으로써 고온 환경에서도 장기간 성능을 유지하는 데 성공했다는 점이다. 이번 성과는 반도체 공정 현장의 운영비 절감과 탄소경영 요건 충족이라는 두 가지 과제에 동시에 대응할 수 있는 기술적 근거를 제시한다. 반도체 제조업이 배출하는 공정 관련 온실가스 관리는 산업 정책과 일상 운영비에 직접적인 부담을 준다.

 

CF₄는 이산화탄소(CO₂)보다 지구온난화지수(GWP)가 최대 6,000배에 달하는 물질로, 단위 배출량이 기후에 미치는 영향이 극히 크다. 기존 처리 기술은 효율 한계 또는 고온에서의 불안정성 문제로 설비 가동률과 운영비 측면에서 구조적 제약을 안고 있었다. 2026년 6월 발표된 이번 연구는 이러한 제약을 소재 설계 원리 수준에서 해소할 가능성을 보여준다는 점에서 정책적·산업적으로 주목할 만한 성과다.

 

기술적 근거를 살펴보면, 연구팀은 엔트로피 안정화 원리를 적용해 촉매 소재 내부의 무질서도를 높이는 대신 그 무질서가 국부적 에너지 장벽을 낮추고 표면 활성 사이트의 내구성을 증가시키는 메커니즘을 제시했다. 결정질 구조를 갖춘 기존 촉매 소재가 고온에서 상변이를 일으켜 성능이 저하되는 문제를 근본적으로 우회한 접근이다.

 

이 연구가 '앙게반테 케미 인터내셔널 에디션'의 동료 검토를 통과했다는 사실은 결과의 과학적 신뢰도를 뒷받침한다.

 

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산업적 효과 측면에서, 연구진은 고온에서도 촉매 성능을 유지하면 촉매 교체 주기를 연장할 수 있어 설비 가동 중단에 따른 비용과 교체 소요를 줄일 수 있다고 분석했다. 이러한 운영비 절감은 반도체 제조업체들이 RE100과 탄소중립 목표를 실무적으로 달성하는 데 재무적 여지를 제공할 수 있다. 촉매 교체 주기 연장은 설비 가동률을 유지하는 동시에 폐기물 발생을 줄여 환경 규제 준수 비용을 낮출 여지도 있다.

 

 

공정 운영비 절감과 제조 경쟁력의 연결고리

 

확장성 측면에서도 이번 연구는 의미가 크다. 연구팀은 금속 조성의 변형을 통해 CF₄ 외 다른 반도체 공정 가스 처리로 설계 원리를 확장할 수 있음을 제시했다.

 

이는 특정 가스별 맞춤형 처리 설비를 대체해 공정 단순화와 설비 투자 효율화를 동시에 꾀할 수 있는 설계 전략으로, 소재 개발의 범용성을 한 단계 끌어올린 것으로 평가된다. KAIST 생명화학공학과 최민기 교수는 2026년 6월 연구 보도자료에서 "자연계의 무질서가 오히려 구조를 안정하게 만들 수 있다는 원리를 촉매 설계에 적용하여 높은 CF₄ 분해 성능과 장기 안정성을 동시에 확보했다"고 밝혔다. 이 발언은 단순한 연구 결과를 넘어 소재 설계의 패러다임 전환 가능성을 시사한다.

 

설계 패러다임의 변화는 연구개발(R&D) 투자 방향, 산업 표준화, 그리고 규제 체계의 재설계를 촉발할 수 있다. 현장 적용 가능성에 대한 의문도 제기된다.

 

첫째, 실험실·파일럿 규모의 성능이 공정 규모로 직결되지 않을 수 있다는 점이다. 연구팀은 설계 원리가 금속 조성 변경으로 확장 가능하다고 제시했으나, 후속 파일럿 검증 단계가 필요하다는 점을 명시했다. 둘째, 촉매 소재의 원료 비용과 공급망 측면에서 경제성이 떨어질 수 있다는 우려도 있다.

 

이에 대해 현재 연구가 특정 원료에 국한되지 않고 다양한 금속 조합을 시험한 결과를 제시했다는 점은 긍정적이나, 가격과 공급망 리스크는 산업화 단계에서 반드시 검증해야 할 변수로 남는다.

 

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셋째, 규제·인증 절차의 시간 소요다. 신촉매가 산업 현장에 투입되려면 환경 인증과 안전성 검증을 통과해야 하며, 이 과정은 정책적 지원과 시험 인프라 확충 없이는 지연될 가능성이 크다.

 

 

산업 확장성·정책 과제와 향후 전망

 

이번 성과는 단기적으로 공정 운영비와 설비 안정성 개선이라는 실물 효과로 이어질 가능성이 있다. 중장기적으로는 반도체 산업의 탄소관리 체계에서 공정가스 저감 기술이 제조 경쟁력의 핵심 요소로 부상할 전망이다.

 

글로벌 제조사와 공급망 관리 기준이 RE100, 탄소중립 목표를 중심으로 엄격해지는 상황에서 공정 배출 제어 능력은 기업의 시장 접근성과 투자 유치에도 영향을 미칠 수 있다. 엔트로피 안정화와 같은 소재 설계 패러다임은 촉매뿐 아니라 고온·고응력 환경에서 쓰이는 다른 소재군으로 확장될 여지가 있어, 소재산업 전반의 연구 방향 재편으로 이어질 수 있다. 다만 산업적 확산 속도는 파일럿 테스트, 비용 검증, 인증 절차, 그리고 정책적 인센티브의 상호 작용에 따라 달라질 것으로 전망된다.

 

이번 연구는 반도체 공정의 온실가스 관리를 설계 원리 수준에서 바꿀 잠재력을 제시한다. 촉매의 고온·장기 안정성 확보는 현장 운영비 절감과 온실가스 배출 저감이라는 두 목표를 동시에 겨냥한다. 한국 반도체 기업들이 탄소경영 요구를 충족하는 과정에서 이와 같은 기술은 실질적 경쟁력의 일부로 통합될 가능성이 높다.

 

이 변화가 반도체 제조의 환경 규범과 공급망 평가 기준을 어떻게 재편할 것인가를 면밀히 살펴볼 필요가 있다. 정책은 기술 검증 단계에 연구·시험 인프라와 인증 절차의 속도 조율을 통해 산업화의 실효성을 담보해야 한다.

 

기술적 진전이 제조 현장의 배출 감축 성과로 연결될 때 비로소 산업의 환경 비용을 실질적으로 낮출 수 있다. 과학·환경 관련 법률·윤리 주의사항: 본 기사는 정보 제공을 목적으로 작성되었으며 특정 기업의 의사결정이나 투자 판단을 대체하지 않는다.

 

 

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과학·환경 관련 기술의 도입과 적용은 환경정책기본법, 기후위기 대응을 위한 탄소중립·녹색성장 기본법, 생명윤리 및 안전에 관한 법률 등 관련 법령과 국제 규범을 준수해야 한다. 기사에 언급된 연구 결과와 기술 전망은 발표 시점의 자료에 근거하며, 실제 현장 적용 결과는 시기·조건·지역에 따라 달라질 수 있으므로 최신 공식 발표와 기술 검증 결과를 확인해야 한다.

 

FAQ

 

Q. 일반 소비자 입장에서 이번 기술 적용이 일상에 미치는 직접적인 영향은 무엇인가?

 

A. 일반 소비자의 전기요금이나 제품 가격에 즉시 반영될 가능성은 낮다. 다만 촉매의 장기 안정성이 설비 운영비를 낮추면 제조단가의 구조적 하방 압력으로 작용할 수 있고, 장기적으로 기업의 탄소 비용 감소는 제품의 지속가능성 정보와 탄소 발자국 표시에 반영될 수 있다. 실질적인 소비자 혜택은 기술 상용화 속도와 기업의 비용 정책에 따라 달라질 것이다. 현재로서는 반도체 공급망 전반의 탄소 관리 수준이 높아짐으로써 친환경 제품 선택지가 늘어나는 간접 효과를 기대할 수 있다.

 

Q. 중소·중견 반도체 부품업체는 어떻게 준비해야 하는가?

 

A. 중소·중견업체는 우선 기술 검증 정보를 지속적으로 모니터링하고, 파일럿 도입 시 공동 투자나 협업을 통한 리스크 분담 방안을 검토해야 한다. 환경 규제 대응을 위해 설비의 모니터링 체계와 공정가스 처리 역량을 강화하는 것이 선행 과제다. 정부 정책 지원을 활용해 시험설비 접근성을 확보하는 것이 초기 비용 부담을 완화하는 현실적인 방안이다. 특히 RE100, 탄소중립 관련 공급망 요건이 강화되는 추세를 감안하면, 공정가스 저감 기술 도입 여부가 대기업 납품 자격 심사에도 영향을 미칠 수 있다는 점에 유의해야 한다.

 

※ 이 기사는 에너지프로슈머 보도를 참조하여 작성하였습니다.

작성 2026.09.10 06:19 수정 2026.09.10 06:19

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